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Plasmaquellen

  • Höchstleistungs-ICP Quellen Modulares plug-in System bis 5 kW je Modul, 13.56 MHz, pulsbar, unerreicht hoher Wirkungsgrad
  • RF Mikroplasma- Jet Anlage Zur Behandlung von Oberflächen und Schichtabscheidung bei Atmosphärendruck